طريقة إنتاج فيلم استرتش
Jun 07, 2023
شعاع الشعاع الجزيئي. epitaxy الشعاع الجزيئي هو طريقة يستخدم من خلالها مصنعو الأفلام الممتدة حزمًا جزيئية للنمو في وحدات الترشيح الفائق. يتم إجراء epitaxy الشعاع الجزيئي (MBE) تحت مضخة فراغ (UHV) ، مما يضمن أن يكون للحزمة الجزيئية مسار حر متوسط كبير ويمكن إسقاطها على سطح الركيزة وفقًا لمخطط التصميم.
من ميزات MBE أنه على عكس طرق نمو الأغشية الممتدة الأخرى ، فإن هذه الطريقة لها العديد من المزايا: يمكنها دمج أجهزة الكشف التي تتطلب معيار مضخة تفريغ عالية في برنامج نظام نمو epitaxy. أظهرت الدراسات العلمية لمبادئ النمو فوق المحاور المعيار. يمكن التحكم بدقة في سمك الطبقة الفوقية ، ويمكن أن يحقق سطح النمو أو الصفحة لمعانًا جزيئيًا ، مما يسمح بإنتاج أغشية ممتدة. 2. طريقة الليزر أحادية النبضة التراكب. تختلف طريقة ترسيب النبضة المفردة بالليزر عن طريقة التبخير بالفراغ التقليدية لتشكيل غشاء رقيق. يمكن لليزر رفع درجة حرارة المنطقة المشعة إلى سرعة يمكنها بعد ذلك تسخين المنطقة المشعة من التسخين البسيط إلى حرق الشمعة باستخدام تقنية البلازما. يتم إخراج ضوء الشموع على طول الاتجاه الطبيعي للسطح ، وينتج عنه تصادمات مطيلة أو عاكسة مع جزيئات أو جزيئات في الهواء في الغرفة العاكسة.
